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一、半导体无尘车间介绍
半导体洁净车间装修在等级中分为:百级、千级、万级、十万级洁净等级,其中微生物洁净车间工程要求尤为严格,需要严格按照国家相关法律法规来实行,将安全隔离服、独立供氧系统作为基础净化设备,然后采用二级屏障系统来确定工作人员的健康问题。项目独立完成后,需要将产生的废气废液进行净化处理,不给环境造成污染。
二、半导体无尘车间装修的特点
洁净度等级要求高,风量、温湿度、压差、排风设备按需控制,照度、洁净室截面风速按设计或规范,半导体类洁净室一般对静电要求极其严格。其中对湿度参数要求也是十分严格,因为过于干燥的厂房内极易产生静电,造成CMOS集成损坏。一般来说,电子厂房的温度应控制在22℃左右,相对湿度控制在50-60%之间,这个参数条件可有效的消除静电,对于人体来说也感觉较为舒适。